2023成都信息工程大學(xué)微電子技術(shù)基礎(chǔ)考研復(fù)試大綱已出!對(duì)成都信息工程大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)碩、光電信息工程專碩感興趣的同學(xué)們是否及時(shí)掌握關(guān)鍵內(nèi)容了呢?為了幫助大家更高效地展開備考,高頓小編整理了成都信息工程大學(xué)微電子技術(shù)基礎(chǔ)2023考研復(fù)試大綱的詳細(xì)內(nèi)容,快來看看吧!
2023成都信息工程大學(xué)微電子技術(shù)基礎(chǔ)考研復(fù)試大綱
  一、科目的總體要求
  《微電子技術(shù)基礎(chǔ)》主要由半導(dǎo)體器件物理和集成電路工藝兩部分內(nèi)容構(gòu)成,本科目主要考察學(xué)生對(duì)《微電子技術(shù)基礎(chǔ)》基本概念、基本方法、基本理論的掌握,要求能解釋、分析并解決相關(guān)問題。
  二、考核內(nèi)容與考核要求
  1、半導(dǎo)體能帶基礎(chǔ)及導(dǎo)電性
 ?。?)能帶的形成(了解);
 ?。?)半導(dǎo)體中的載流子(掌握);
 ?。?)三維無限晶體的能帶(理解);
  (4)平衡載流子濃度(掌握);
 ?。?)載流子的漂移、遷移率(理解)。
  2、PN結(jié)
 ?。?)平衡PN結(jié)能帶及參數(shù)(掌握)
 ?。?)正偏、反偏PN結(jié)(理解)
  3、雙極型晶體管
 ?。?)晶體管工作原理(理解);
 ?。?)雙極型晶體管靜態(tài)特性(理解);
  4、MOSFET器件
 ?。?)理想MOS結(jié)構(gòu)(理解)
  (2)MOSFET基礎(chǔ)(理解)
  5、硅片工藝
  (1)多晶硅制備(了解);
 ?。?)單晶硅生長原理及直拉法,晶體摻雜:(掌握);
 ?。?)切片工藝(理解)。
  6、薄膜淀積
 ?。?)化學(xué)氣相淀積原理(理解);
 ?。?)化學(xué)氣相淀積工藝方法:常壓,低壓和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(理解);
 ?。?)真空蒸鍍工藝原理及蒸鍍工藝(掌握);
 ?。?)濺射工藝原理及直流,射頻和磁控濺射工藝(掌握)。
  7、光刻與刻蝕
 ?。?)基本光刻工藝流程(掌握);
 ?。?)光刻膠與曝光技術(shù)(理解);
 ?。?)濕法刻蝕與干法刻蝕(理解);
 ?。?)刻蝕技術(shù)進(jìn)展(了解);
  8、雜質(zhì)摻雜
 ?。?)硅的熱氧化工藝與機(jī)理(掌握);
 ?。?)硅的Deal-Grove熱氧化模型(了解);
 ?。?)熱氧化生長速率與影響因素(理解);
 ?。?)擴(kuò)散機(jī)制與擴(kuò)散工藝條件及方法(理解);
 ?。?)離子注入原理與工藝流程(掌握);
  三、題型結(jié)構(gòu)
  考試包含多種題型:名詞解釋、簡答題、計(jì)算題。
  四、參考書目
  1、《半導(dǎo)體器件物理與工藝》第3版,施敏主編,蘇州大學(xué)出版社,2014年。
  五、其他要求
  具體考試時(shí)間以《準(zhǔn)考證》為準(zhǔn)。
  考生可攜帶不具編程、可存儲(chǔ)功能的普通計(jì)算器。
  本文內(nèi)容整理于成都信息工程大學(xué)研究生處。
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